Errore del sensore di pressione?
In primo luogo, l'errore di offset: poiché l'offset verticale del sensore di pressione rimane costante per l'intero intervallo di pressione, i cambiamenti nella diffusione del convertitore e la correzione della regolazione laser provocheranno un errore di offset.
In secondo luogo, c'è l'errore di sensibilità: l'entità dell'errore generato è proporzionale alla pressione. Se la sensibilità del dispositivo è superiore al valore tipico, l'errore di sensibilità sarà una funzione crescente della pressione. Se la sensibilità è inferiore al valore tipico, l'errore di sensibilità sarà una funzione decrescente della pressione. La ragione di questo errore è dovuta a cambiamenti nel processo di diffusione.
Il terzo è l'errore lineare: questo è un fattore che ha un piccolo impatto sull'errore iniziale dei sensori di pressione. La ragione di questo errore è la non linearità fisica del wafer di silicio, ma per i sensori con amplificatori dovrebbe essere inclusa anche la non linearità dell'amplificatore. La curva di errore lineare può essere una curva concava o una curva convessa per i sensori di pesatura.
Infine, c'è l'errore di isteresi: nella maggior parte dei casi, l'errore di isteresi dei sensori di pressione può essere completamente ignorato perché i wafer di silicio hanno un'elevata rigidità meccanica. In generale, l'errore di isteresi deve essere considerato solo in situazioni in cui la pressione cambia in modo significativo.
